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《微機電技術》
類型:
紙本書
出版社:
商周出版
出版日期:
20020724
書系:
科學新視野系列
【內文簡介】
「微機電系統」(MEMS,MicroElectroMechnical System)這個以百萬分之一公尺,也就是微米(Micrometer)為設計、製造及運作單位的科技概念,在四十多年前由諾貝爾物理學獎得主理查.費曼(Richard Feynmann)博士提出之後,經過科學家
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